“噗……”

陈宇不是很懂技术，但却知，这是决定未来光刻机命运的时刻。

记得前世，其实在开始之初，荷兰aslm与德国，与日本几大光刻机公司实力都差不多。

“不是，他是一位越南籍华人，他叫林本艰，祖上好像也是客家人，台积电的技术大拿，在光刻机这一块很有研究。”

听了好一会，陈宇只听到式，式什么的。

这个工艺，就涉及到，也就是林本艰现在提到的浸式。

“这是日本佳能的技术大佬？”

为什么后来aslm却是一统天下，完全与这一些光刻机公司选择的路线有关。

但可惜。

“这也是，技术可能太复杂了，你毕竟不是专业搞芯片的。”

这一次，他倒要认真的听了。

他这一次来这里听研讨会的目的，不就是为了光刻机吗？

像这么专业的知识，别说是英语一般的，哪怕是英语很的也觉是听天书。

“他说的这个式名字叫浸式，与式差不多。但用的介质却不一样，我们一般现在用的是空气，而林本艰提成了用为浸式的介质。”

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虽然林本艰会说中文，但在这样的全球研讨会上，演讲用的还是英语。

“张总，那个林本艰说的式和式是什么意思？”

随着一个一个技术大拿纷纷演讲结束，这时，陈宇却看到讲台上走上了一位黄肤黑睛的亚洲人。

“？”

陈宇。

在前世2008年之后，全球90%以上生产来的芯片，用的都是林本艰所提来的式光刻工艺。并且，也正因为林本艰提了这个式工艺，这才将芯片从190纳米，一路到了130纳米，90纳米，65纳米，40纳米，28纳米，20纳米，16纳米，10纳米，7纳米，和5纳米。甚至，连最为尖端的3纳米，采用的都是林本艰的式光刻技术。

当时日本，德国，包括国这一些光刻机公司路线选择错。

“噢。”

“什么是式？”

“您觉得他的这个工艺有没有前途？”

没想到，在光刻机领域竟然还有一位华人大拿。

张如京向陈宇述说着这一个式光刻工艺所面对的问题。

但这也是。

“说的是生产光刻机的一技术工艺，目前我们大分普遍用的是式光刻机生产工艺。也就是用空气为镜与晶圆间的介质，让光罩上的图形在晶圆上成象。不过，这个林本艰觉得，还可以用一式工艺。”

原本他以为，只要涉及到光刻机的，要么是荷兰，要么是德国，要么是日本。

与此前一样，陈宇也觉在听天书。

他知。

“这个，说不准，理论上有可能，但里面还存在着一系列要解决的问题。比如，会不会产生汽泡，会不会污染设备，要怎么防，遇会膨胀，折率会改变，这又怎么解决……”

不过，既然来了，虽然有些听不懂，但陈宇也没有提前离开。

听到这个词，陈宇陈宇有些激动。

如果抓住这个林本艰，那么，中国光刻机就有希望了。

“主要是我听不懂他英语说的是什么。”

未来若年之后，这一切的问题都不会成为问题。

张如京目瞪呆。

听不懂。”

只是，这个时候，陈宇的睛已经盯了林本艰。

而aslm却是重金开辟了另一条光刻机生产工艺。