这些还不算完，由于极紫外线非常容易被收，即便空气也会收极紫外线，所以整个工作环境必须保持度真空。

杨东升敢把还在研制中的技术，拿给他们看的原因就是光刻机的整构造，其实没什么秘密可言，考验的就是实打实的工业实力。

荷兰阿斯麦的极紫外线光刻机使用的是国的光源，德国的镜，瑞典的轴承，法国的阀件……可以说集合了西方所有发达国家先技术于一。

而且由于反式镜是一个不规则的椭球——光源位于椭球其中一个圆心，使用人工打磨，已经不可能。

如果是追着外国人的研究的话，他们永远别想赶上别人，而且永远也别想盈利，他们无论何等级的设备，西方国家上就会解除对同等设备的禁运。

由于极紫外线的波长只有十几个纳米，紫外线使用的纳米极度，人工打磨镜的技术也不能用了。

在镜上，极紫外线也与紫外线有很大不同，极紫外线非常容易被收，紫外线使用的透镜式镜已经不能使用了，因为镜会直接把极紫外线光线收掉，因此使用反式镜。

后世阿斯麦的极紫外线光刻机，使用的光源是采用激光持续轰击锡滴。

这就是最讨厌的地方！

其中的关键光源技术，紫外线使用的是准分激光，跟下一代极紫外线光源相互的关联很少！

大功率的激光，持续不断的准确命中锡滴，每一项都是要命的技术。

。

光刻机三大心件——光源、镜、工作台。

..

极紫外线光刻机，中国确实不来，但是国人独自也不来。

镜上还要镀，把极紫外光以外的其他光线收掉。

而且准分激光技术应用很广泛，此项技术不止国一家掌握，想绕过国相对简单，相比之下极紫外线光源技术就比较妖孽了。

得益于杨东升的先知先觉，东升半导决定直接上极紫外线光刻相关技术。

这规格的镀机，也买不来，杨东升也得自己造。

必须要用等离自动抛光设备，这东西中国没有，国外也买不来，只能自己造。

机、刻蚀机、薄沉积机，这其中光刻机是最经常被人提及的，原因很简单，因为光刻机是最难的。 [page]

极紫外线用的反式镜，度必须达到米级。

光刻机内必须先使用普通真空泵先一遍，再用分真空泵一遍，这还不够，必须还得用附式方法，再一遍。

由于极紫外线只占锡滴发的光很少一分，大约只有百分之几，因此要使用足够的激光轰击锡滴，才能发足够的光——至少得是3万瓦以上，而且还得持续不停的输。

杨东升也是正式涉足光刻机领域后，才知这一块有多难。

中国了上千台航空发动机，但是对自航空发动机技术的提升，几乎没有任何作用。

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